潔凈廠房設(shè)計(jì)的特點(diǎn)
微電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)是一項(xiàng)綜合技術(shù)，它與其他工業(yè)廠房設(shè)計(jì)有類似之處，但 也有一些特殊之處。主要特點(diǎn)如下：
1. 要根據(jù)生產(chǎn)產(chǎn)品的特點(diǎn)，確定技術(shù)要求。如空氣潔凈等級、防微振、高純物質(zhì)等要求是不同的，應(yīng)按具體情況確定。
2. 為確保潔凈室內(nèi)所必須的潔凈度,各個(gè)專業(yè)均要求不引入或少引入污染物,不產(chǎn)生和少產(chǎn)生污染物,不滯留或少滯留污染物。
3．潔凈廠房設(shè)計(jì)是各專業(yè)設(shè)計(jì)技術(shù)的綜合，要求各專業(yè)密切協(xié)同，相互滲透和合理安排。
4． 潔凈廠房設(shè)計(jì)應(yīng)確保安全生產(chǎn)和環(huán)保要求。各專業(yè)設(shè)計(jì)必須滿足消防防火要求。同時(shí)由于微電子工業(yè)的生產(chǎn)特點(diǎn)，生產(chǎn)過程中產(chǎn)生出一些廢水、廢氣，必須經(jīng)過特殊處理達(dá)到國家排放標(biāo)準(zhǔn)后才能排放。
5． 微電子工業(yè)發(fā)展日新月異，潔凈廠房本身是一個(gè)技術(shù)密集、資金密集的產(chǎn)物，投資非常巨大，這就要求潔凈廠房設(shè)計(jì)要考慮一定的靈活性，以便產(chǎn)品換代時(shí)方便地進(jìn)行技術(shù)改造。目前 SMIF 隔離技術(shù)的采用，就是一種能適應(yīng)技術(shù)發(fā)展的靈活的設(shè)計(jì)。
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